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LJUHV拥有超过25年精密加工、半导体制程、电子仪控及专业真空及薄膜技术背景。公司开发了离子源镀膜及离子源辅助镀膜的系列设备,可提供基于离子源系统高真空离子源薄膜系统。

ION Deposition System 离子源系统

               
 多腔室离子源系统
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                            多腔室离子源镀膜系统 Ion 系列

                 

 
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