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 美国Cee®匀胶机
Cee® Benchtop Spin Coater, Bake Plate and Develop Equipment

2009
相关技术文献 Publications

Brewer Science® U.S. Patents 相关专利技术

Brewer Science® 自1981年来为微电子和光电子领域化学品及设备的领先制造者,通过不断创造革新的产品和技术Brewer Science® 确立了他领先的竞争优势,不断革新的努力已经成为公司主要目标之一,Brewer Sciencehas在国际上拥有多项属于自己的专利技术。

U.S. Patent No. 7,455,955
Planarization method for multi-layer lithography processing

U.S. Patent No. 7,449,230
Lithography pattern shrink process and articles

U.S. Patent No. 7,364,835
Developer-soluble materials and methods of using the same in via-first dual damascene applications

U.S. Patent No. 7,364,832
Wet developable hard mask in conjunction with thin photoresist for microphotolithography

U.S. Patent No. 7,348,281
Method of filling structures for forming via-first dual damascene interconnects

U.S. Patent No. 7,323,289
Bottom anti-reflective coatings derived from small core molecules with multiple epoxy moieties

U.S. Patent No. 7,316,844
Spin-on protective coatings for wet-etch processing of microelectronic substrate

 

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